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無塵室設(shè)計和裝修的基本知識是什么？

發(fā)布時間：2022-12-11 15:47:58 丨 瀏覽次數(shù)：

無塵室裝修設(shè)計是污染控制的基礎(chǔ)。如果沒有潔凈室，就不可能大規(guī)模生產(chǎn)對污染敏感的部件。在FED-STD-2中，無塵潔凈室被定義為具有空氣過濾、分配、優(yōu)化、結(jié)構(gòu)材料和設(shè)備的房間。特定和常規(guī)的操作程序通過控制空氣中顆粒的濃度來達到適當?shù)念w粒清潔度水平。

1.無塵室的設(shè)計和建造是指在一定空間內(nèi)去除空氣中的顆粒物、細菌和其他污染物。室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、空氣速度和分布、噪音、振動、照明和靜電控制均在規(guī)定要求內(nèi)進行。提供專門設(shè)計的無塵室。

第二，潔凈室的原則。潔凈室內(nèi)使用了HEPA和空氣凈化設(shè)備，除塵率為99.97%～99.9995%，因此這款過濾器過濾的空氣可以說非常干凈。然而，除了人，潔凈室中還有機器等灰塵來源。一旦擴散，就不可能保持干凈的空間。因此，應利用氣流將產(chǎn)生的粉塵快速排出室外。

第三，潔凈室里有三層灰塵。無塵潔凈室有三個原則：防塵、除塵和除塵。作為進入潔凈室的緩沖通道之一，風室是帶有灰塵的最佳凈化設(shè)備之一，可以大大減少員工進出潔凈室的污染問題?？照{(diào)室兩扇門的電子鎖也作為空調(diào)室，可以防止外部污染和不純空氣進入無塵清潔區(qū)域，滿足生產(chǎn)現(xiàn)場所需的生產(chǎn)清潔環(huán)境。

第四，無塵潔凈室的重要作用是控制產(chǎn)品（如硅片）接觸的大氣清潔度、日常溫度和濕度。通過這種方式，可以在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造產(chǎn)品。這個空間被稱為無塵潔凈室。根據(jù)國際慣例，無塵凈化水平主要基于每立方米空氣中直徑大于區(qū)分標準的顆粒數(shù)量。換句話說，灰塵不是100%無塵，而是在非常小的單元中控制的。當然，在這個標準下，符合粉塵標準的顆粒與我們常見的粉塵相比已經(jīng)非常小，但在光學結(jié)構(gòu)中，即使是一點點粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響。因此，在光學結(jié)構(gòu)產(chǎn)品的生產(chǎn)中，無粉塵是不可避免的要求。

五、 如果每立方米小于0.5μm的微粒數(shù)量控制在3500以下，將達到國際無塵標準的A級。在芯片級生產(chǎn)和加工中應用的無塵標準對粉塵的要求高于A級。該高標準主要適用于一些高級別芯片的生產(chǎn)。細粉塵的數(shù)量嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這在業(yè)內(nèi)通常被稱為1K級。